Vao haingana, mpampiasa maro no nanontany momba ny tombony sy ny fatiantoka ny sputtering coating teknolojia, araka ny fepetra takian'ny mpanjifa, ankehitriny manam-pahaizana avy amin'ny RSM Teknolojia Departemanta dia hizara amintsika, manantena ny hamaha olana.Mety misy ireto teboka manaraka ireto:
1, tsy voalanjalanja magnetron sputtering
Raha heverina fa tsy mitovy ny flux andriamby mandalo amin'ny tendron'ny magnetron sputtering cathode anatiny sy ivelany, dia cathode tsy mifandanja magnetron sputtering izany.Ny sahan'andriamby an'ny katoda mipoitra magnetron mahazatra dia mifantoka eo akaikin'ny tampon'ny kendrena, raha toa kosa ny sahan'andriamby an'ny katoda mipoitra magnetron tsy voalanjalanja dia mivoaka avy ao amin'ny kendrena.Ny sahan'andriamby amin'ny cathode magnetron mahazatra dia mametra mafy ny ranon-dra eo akaikin'ny lasibatra, raha ny plasma akaikin'ny substrate kosa dia tena malemy, ary ny substrate dia tsy ho voadaroka amin'ny ion sy elektronika matanjaka.Ny saha magnetron cathode tsy misy equilibrium dia afaka manitatra ny plasma lavitra ny lasibatra ary mandentika ny substrate.
2, Radio Frequency (RF) sputtering
Ny fitsipiky ny fametrahana sarimihetsika insulating: mety ho ratsy no ampiharina amin'ny conductor apetraka eo an-damosin'ny insulating tanjona.Ao amin'ny plasma mivoaka ny hazavana, rehefa mihamitombo ny takelaka mpitari-dalana ion positive, dia baomba amin'ny baomba ny kendrena insulation eo anoloany mba hitsambikina.Tsy afaka haharitra 10-7 segondra fotsiny io sputtering io.Aorian'izany, ny poizina tsara ateraky ny fiampangana tsara miangona eo amin'ny kendrena insulating dia manonitra ny mety ho ratsy eo amin'ny takelaka conducteur, noho izany dia atsahatra ny daroka baomba amin'ny ion positive mahery vaika amin'ny kendrena insulating.Amin'izao fotoana izao, raha mivadika ny polarity ny famatsiana herinaratra, ny elektrôna dia hanapoaka baomba ny takelaka insulation ary neutralize ny fiampangana tsara eo amin'ny takelaka insulating ao anatin'ny 10-9 segondra, ka mahatonga ny mety ho aotra.Amin'izao fotoana izao, ny famerenana ny polarity ny famatsiana herinaratra dia mety hamokatra sputtering mandritra ny 10-7 segondra.
Tombontsoa amin'ny RF sputtering: na ny lasibatra metaly na ny lasibatra dielectric dia azo tsinontsinoavina.
3, DC magnetron sputtering
Ny magnetron sputtering coating fitaovana mampitombo ny sahan'andriamby ao amin'ny DC sputtering cathode kendrena, mampiasa ny Lorentz hery ny sahan'andriamby mba hamatotra sy hanitarana ny lalan'ny elektrôna ao amin'ny herinaratra saha, mampitombo ny vintana ny fifandonana eo amin'ny elektronika sy ny atoma entona, mampitombo ny ny tahan'ny ionization ny atôma entona, mampitombo ny isan'ny angovo avo lenta baomba ny lasibatra ary mampihena ny isan'ny avo-angovo elektronika baomba ny substrate voapetaka.
Ny tombony amin'ny planar magnetron sputtering:
1. Ny hakitroky ny hery kendrena dia mety hahatratra 12w/cm2;
2. Ny lasibatra kendrena dia mety hahatratra 600V;
3. Ny tsindry entona dia mety hahatratra 0.5pa.
Ny tsy fahampian'ny planar magnetron sputtering: ny kendrena dia mamorona fantsona sputtering ao amin'ny faritry ny lalamby, ny etching amin'ny tontolon'ny kendrena manontolo dia tsy mitovy, ary ny tahan'ny fampiasana ny tanjona dia 20% - 30% ihany.
4. Famerenana matetika AC magnetron sputtering
Izany dia manondro fa ao amin'ny antonony matetika AC magnetron sputtering fitaovana, matetika lasibatra roa mitovy habe sy ny endriny dia voaendrika lafiny amin'ny lafiny, matetika antsoina hoe kambana tanjona.Izy ireo dia fametrahana mihantona.Matetika, lasibatra roa no mandeha miaraka.Ao amin'ny dingan'ny antonony matetika AC magnetron reactive sputtering, ny lasibatra roa miasa toy ny anode sy cathode indray, ary miasa toy ny anode cathode samy ao amin'ny antsasaky ny tsingerina.Rehefa eo amin'ny mety ho an'ny antsasaky ny tsingerina ratsy ny kendrena, dia baomba sy voapoipoitra amin'ny ion positive ny habakabaka kendrena;Ao amin'ny tsingerin'ny antsasany tsara, ny elektrôn'ny plasma dia haingana mankany amin'ny lasibatra ho an'ny neutralize ny fiampangana tsara miangona eo amin'ny insulation ambonin'ny lasibatra, izay tsy vitan'ny hoe manafoana ny fandoroana ny lasibatra, fa manafoana ny trangan-javatra " fanjavonan'ny anode".
Ny tombony amin'ny sputtering reactive kendrena roa antonony dia:
(1) Ny tahan'ny fametrahana avo.Ho an'ny lasibatra silisiôna, ny taham-pahavitrihana amin'ny sputtering mihetsiketsika antonony dia avo 10 heny noho ny an'ny DC reactive sputtering;
(2) Ny fizotry ny sputtering dia azo apetraka amin'ny toerana fiasana napetraka;
(3) Esorina ny trangan'ny "ignition".Ny hakitroky ny kilema amin'ny sarimihetsika insulating efa voaomana dia lamina maromaro latsaka noho ny an'ny fomba fanodikodinana DC reactive;
(4) Ny hafanan'ny substrate ambony dia mahasoa amin'ny fanatsarana ny kalitao sy ny adhesion ny sarimihetsika;
(5) Raha ny famatsiana herinaratra dia mora kokoa ny mifanandrify amin'ny kendrena noho ny famatsiana herinaratra RF.
5, Reactive magnetron sputtering
Ao amin'ny dingan'ny sputtering, ny entona fanehoan-kevitra dia omena mba hihetsika miaraka amin'ireo poti-potaka mipoitra mba hamokarana sarimihetsika mifangaro.Afaka manome entona mihetsiketsika mba hihetsika miaraka amin'ny kendrena mifangaro sputtering amin'ny fotoana iray ihany, ary afaka manome entona mihetsiketsika ihany koa izy mba hihetsika amin'ny vy na firaka mipoitra miaraka amin'ny fotoana iray hanomanana sarimihetsika mitambatra miaraka amin'ny tahan'ny simika nomena.
Tombontsoa amin'ny sarimihetsika mitambatra magnetron sputtering reactive:
(1) Ny fitaovana kendrena sy ny gazy fanehoan-kevitra ampiasaina dia oksizenina, azota, hydrocarbons, sns., izay matetika mora ny mahazo vokatra madio avo, izay mahasoa amin'ny fanomanana ny sarimihetsika mitambatra madio indrindra;
(2) Amin'ny alalan'ny fanitsiana ny dingana masontsivana, simika na tsy simika fitambarana sarimihetsika azo omanina, ka ny toetra mampiavaka ny sarimihetsika azo ahitsy;
(3) Ny mari-pana amin'ny substrate dia tsy avo, ary misy famerana vitsivitsy amin'ny substrate;
(4) Mety amin'ny coating fanamiana faritra lehibe ary mahatsapa ny famokarana indostrialy.
Ao amin'ny dingan'ny reactive magnetron sputtering, ny tsy fandriam-pahalemana amin'ny sputtering dia mora mitranga, indrindra indrindra:
(1) Sarotra ny manomana tanjona mitambatra;
(2) Ny tranganà fikapohana arc (arc discharge) ateraky ny fanapoizinana kendrena sy ny tsy fandriam-pahalemana ny fizotran'ny sputtering;
(3) ambany ny tahan'ny fametrahana sputtering;
(4) Ny hakitroky ny kilema amin'ny sarimihetsika dia avo.
Fotoana fandefasana: Jul-21-2022