Ny mpanolo-tsaina ara-teknika an'ny RSM dia hizara aminao ny tombony amin'ny lasibatra cylindrical sy planar magnetron sputtering?Raha oharina amin'ny hafa magnetron sputtering lasibatra, cylindrical sy planar magnetron sputtering lasibatra mitana ny tombony ny coating tsara fanamiana ny mahitsizoro planar tanjona, ary afaka hampitombo ny fampiasana ny tanjona amin'ny alalan'ny fomba roa manaraka ireto:
(1) Rehefa ny vondrona roa (efatra) annular lavaka eo ambonin'ny lasibatra mahatratra ny halalin'ny sasany, ny kendrena fototra (magnet ampahany) azo ahodina 45 ° mifandray amin'ny kendrena fantsona, ka faritra hafa amin'ny kendrena fantsona. izay tsy misy harafesina dia azo ampiasaina;
(2) Rehefa ny kendrena fototra amin'ny cylindrical sy planar magnetron sputtering kendrena dia natao ho toy ny fihodinan'ny kendrena fototra (ny tanjona kendrena dia mihodina mandritra ny sputtering), ny ambonin'ny lasibatra azo mitovy sputtered eny sosona amin'ny sosona tsy misy lavaka.Amin'izao fotoana izao, ny tanjona dia hampiasaina amin'ny fomba mahomby indrindra, ary ny tahan'ny fampiasana ny tanjona dia mety hahatratra 50% ~ 60% Rehefa metaly sarobidy ny fitaovana kendrena, dia mazava ho azy fa misy dikany lehibe izany.
Amin'ny alalan'ny fampiasana ny fitsipiky ny andriamby amin'ny tsato-kazo kiraro amin'ny coaxial cylindrical magnetron sputtering kendrena mba hamahana ny olana amin'ny faran'ny andriamby saha, ny mahitsizoro fiaramanidina kendrena azo ovaina ho cylindrical sy planar magnetron sputtering kendrena, Ny lasibatra dia afaka mampitombo ny utilization tahan'ny lasibatra. raha mitazona ny fitovian'ny coating tsara ny kendrena fiaramanidina mahitsizoro Mba hanatsarana ny tombontsoa ara-toekarena.
Fotoana fandefasana: Jul-04-2022