Ny tanjona dia misy fiantraikany maro, ary lehibe ny sehatra fampandrosoana ny tsena.Tena ilaina amin'ny sehatra maro izy io.Saika ny fitaovam-pamokarana vaovao rehetra dia mampiasa andriamby mahery amin'ny elektrôna miolikolika mba hanafaingana ny ionization ny argon manodidina ny kendrena, ka miteraka fitomboan'ny mety hisian'ny fifandonana eo amin'ny kendrena sy ny argon ion.Andeha hojerentsika ny anjara asan'ny sputtering tanjona amin'ny vacuum coating.
Hatsarao ny tahan'ny sputtering.Amin'ny ankapobeny, DC sputtering dia ampiasaina amin'ny vy coating, RF AC sputtering dia ampiasaina ho an'ny tsy conductive seramika magnetika fitaovana.Ny fitsipika fototra dia ny fampiasana ny famirapiratan'ny hazavana mba hamely ny argon (AR) ions eo amin'ny ambonin'ny kendrena ao amin'ny banga, ary ny cation ao amin'ny plasma dia hanafaingana haingana ny ratsy electrode ambonin'ny toy ny splashed fitaovana.Io fiatraikany io dia hahatonga ny akoran'ilay kendrena hanidina ary hametraka eo amin'ny substrate mba hamorona sarimihetsika.
Amin'ny ankapobeny, misy toetra maromaro amin'ny fametahana sarimihetsika amin'ny fizotran'ny sputtering: (1) metaly, firaka na insulator dia azo atao amin'ny angona sarimihetsika.
(2) Amin'ny toe-javatra mifanaraka amin'izany, ny sarimihetsika miaraka amin'ny fitambarana mitovy dia azo atao amin'ny tanjona marobe sy tsy milamina.
(3) Ny fifangaroana na ny fitambaran'ny akora kendrena sy ny molekiola entona dia azo vokarina amin'ny fampidirana oksizenina na gazy mavitrika hafa ao amin'ny atmosfera mivoaka.
(4) Ny lasibatra fampidirana amin'izao fotoana izao sy ny sputtering fotoana azo fehezina, ary mora ny mahazo avo-tsara ny hatevin'ny sarimihetsika.
(5) Raha oharina amin'ny dingana hafa, dia mahasoa amin'ny famokarana sarimihetsika fanamiana faritra lehibe.
(6) Saika tsy misy fiantraikany amin'ny gravité ny poti-potaka mipoitra, ary azo alamina malalaka ny toeran'ny tanjona sy ny substrate.
Fotoana fandefasana: May-17-2022