Ny lasibatra molybdène sputtered dia nampiasaina betsaka tamin'ny indostrian'ny elektronika, ny sela masoandro, ny fametahana fitaratra, ary ny sehatra hafa noho ny tombony azony.Miaraka amin'ny fivoarana haingana ny teknolojia maoderina amin'ny miniaturization, ny fampidirana, ny digitization ary ny faharanitan-tsaina, dia hitombo hatrany ny fampiasana molybdène lasibatra, ary ny fepetra takian'ny kalitao ho azy ireo dia hihamatanjaka ihany koa.Noho izany dia mila mitady fomba hanatsarana ny tahan'ny fampiasana ny tanjona molybdène isika.Ankehitriny, ny tonian'ny RSM dia hampiditra fomba maro hanatsarana ny tahan'ny fampiasana ny lasibatra molybdène ho an'ny rehetra.
1. Ampio coil elektromagnetika amin'ny lafiny mifanohitra
Mba hanatsarana ny tahan'ny fampiasana ny sputtered molybdène kendrena, ny electromagnetic coil azo ampiana eo amin'ny lafiny mifanohitra amin'ny planar Magnetron sputtering molybdène kendrena, ary ny sahan'andriamby eo ambonin'ny molybdène kendrena dia azo nitombo amin'ny alalan'ny fampitomboana ny ankehitriny ny ny coil electromagnetic, mba hanatsarana ny tahan'ny fampiasana ny molybdène kendrena.
2. Mifidiana fitaovana kendrena tubular rotating
Raha ampitahaina amin'ny kendrena fisaka, ny fisafidianana rafitra kendrena mihodinkodina tubular dia manasongadina ny tombony azony.Amin'ny ankapobeny, ny tahan'ny fampiasana lasibatra fisaka dia 30% hatramin'ny 50% ihany, raha toa ka mahatratra 80% ny tahan'ny fampiasana lasibatra mihodina amin'ny tubular.Ankoatr'izay, rehefa mampiasa ny lasibatra mihodinkodina hollow Tube Magnetron sputtering kendrena, satria ny kendrena dia afaka mihodina manodidina ny raikitra bar andriamby fivoriambe amin'ny fotoana rehetra, dia tsy hisy redeposition eo amboniny, ka ny fiainan'ny mihodinkodina lasibatra dia matetika mihoatra ny 5 heny. noho ny lasibatry ny fiaramanidina.
3. Soloy amin'ny fitaovana sputtering vaovao
Ny fanalahidin'ny fanatsarana ny tahan'ny fampiasana ny fitaovana lasibatra dia ny famitana ny fanoloana ny fitaovana sputtering.Nandritra ny dingan'ny sputtering ny molybdène sputtering fitaovana kendrena, tokony ho ny ampahenin'ny sputtering atoma dia hametraka eo amin'ny rindrina efitra banga na bracket rehefa avy voadona amin'ny hydrogène ion, mampitombo ny vola lany amin'ny fanadiovana ny banga fitaovana sy ny fiatoana.Noho izany, ny fanoloana ny fitaovana sputtering vaovao dia afaka manampy amin'ny fanatsarana ny tahan'ny fampiasana ny sputtering molybdène tanjona.
Fotoana fandefasana: May-24-2023