Namana maro momba ny fikojakojana ny tanjona misy fanontaniana bebe kokoa na latsaka, tato ho ato dia maro ihany koa ny mpanjifa manontany momba ny fikojakojana ny tanjona mifandray olana, avelao ny tonian-dahatsoratra RSM ho antsika mba hizara momba sputtering tanjona fikojakojana fahalalana .
Ahoana no tokony hitazomana ny tanjona sputter?
1, fikojakojana tanjona
Mba hisorohana ny circuit fohy sy ny arcing vokatry ny lavaka maloto ao amin'ny dingan'ny sputtering, dia ilaina ny hanala tsindraindray ny sputters miangona eo afovoany sy ny lafiny roa amin'ny sputtering lalana, izay manampy ihany koa ny mpampiasa ny tsy tapaka sputter amin'ny hery ambony hakitroky.
2, fitahirizana tanjona
Manoro hevitra izahay fa ny mpampiasa dia mitahiry ny kendrena (na metaly na seramika) ao anaty fonosana banga, indrindra fa ny lasibatra mety dia tsy maintsy tehirizina ao anaty banga mba hisorohana ny oxidation ny sosona mety hisy fiantraikany amin'ny kalitao mety.Raha ny famenoana lasibatra metaly, dia manoro hevitra izahay fa tokony ho feno harona plastika madio izy ireo farafaharatsiny.
3. Fanadiovana tanjona
Ny dingana voalohany dia ny manadio amin'ny lamba malefaka tsy misy lint voatoto amin'ny acetone;
Ny dingana faharoa dia mitovy amin'ny dingana voalohany, fanadiovana amin'ny alikaola;
Dingana 3: diovina amin'ny rano deionized.Aorian'ny fanadiovana amin'ny rano deionized dia apetraka ao anaty lafaoro ny tanjona ary maina amin'ny 100 ℃ mandritra ny 30 minitra.Soso-kevitra ny hampiasa “lamba tsy misy loko” mba hanadiovana ireo lasibatra oksizenina sy seramika.
Ny dingana fahefatra dia ny manasa ny kendrena amin'ny argon miaraka amin'ny tsindry ambony sy ny hamandoana ambany mba hanesorana ireo poti-potaka maloto mety hiteraka arc amin'ny rafitra sputtering.
4. Fanamarinana ny circuit fohy sy ny fihenjanana
Aorian'ny fametrahana ny lasibatra, ny cathode iray manontolo dia tokony hojerena raha misy circuit fohy sy henjana.Amporisihina ny hitsara raha misy fihoaram-pefy ao amin'ny cathode amin'ny fampiasana metatra fanoherana sy megger.Rehefa avy nanamarina fa tsy misy circuit fohy ao amin'ny cathode, dia azo atao ny fanaraha-maso ny fahatapahan'ny rano, ary ny rano dia azo ampidirina ao amin'ny cathode mba hamaritana raha misy rano mitete.
5, fonosana sy fitaterana
Ny lasibatra rehetra dia fenoina ao anaty harona plastika voaisy tombo-kase miaraka amin'ny mpiasan'ny hamandoana.Ny fonosana ivelany amin'ny ankapobeny dia boaty hazo misy sosona manohitra ny fifandonana manodidina mba hiarovana ny lasibatra sy ny backplane amin'ny fahasimbana mandritra ny fitaterana sy ny fitahirizana.
Fotoana fandefasana: Jul-15-2022