Ny fitaovana kendrena sputtered dia manana fepetra avo lenta mandritra ny fampiasana, tsy ho an'ny fahadiovana sy ny haben'ny poti, fa koa ny haben'ny sombin-javatra mitovy.Ireo fepetra avo lenta ireo dia mahatonga antsika hifantoka bebe kokoa amin'ny fampiasana fitaovana kendrena sputtering.
1. Fiomanana sputtering
Tena zava-dehibe ny fitazonana ny fahadiovan'ny efitrano banga, indrindra ny rafitra sputtering.Ny menaka, ny vovoka, ary ny sisa tavela amin'ny coating teo aloha dia afaka manangona loto toy ny rano, misy fiantraikany mivantana amin'ny banga ary mampitombo ny mety ho tsy fahombiazan'ny fiforonan'ny sarimihetsika.Mazàna ny efi-trano sy ny basy ary ny lasibatra maloto no mahatonga ny fihodinkodinana fohy, ny fikojakojana kendrena, ny fonon-tsarimihetsika marokoroko, ary ny loto simika be loatra.
Mba hihazonana ny toetra mampiavaka ny coating, ny entona sputtering (argon na oksizenina) dia tsy maintsy madio sy maina.Aorian'ny fametrahana ny substrate ao amin'ny efitrano misy ny sputtering, dia mila alaina ny rivotra mba hahazoana ny haavon'ny banga ilaina amin'ny dingana.
2. Fanadiovana tanjona
Ny tanjon'ny fanadiovana kendrena dia ny hanesorana izay vovoka na loto mety misy eo ambonin'ny lasibatra.
3. Fametrahana tanjona
Ny zava-dehibe indrindra hojerena mandritra ny fametrahana ny fitaovana kendrena dia ny miantoka ny fifandraisana mafana tsara eo amin'ny fitaovana kendrena sy ny rindrin'ny basy mitsimoka.Raha mivadika mafy ny rindrin'ny vata fampangatsiahana na ny takela-damosina, dia mety hiteraka vaky na miforitra izany mandritra ny fametrahana ny fitaovana kendrena.Ny fifindran'ny hafanana avy amin'ny tanjona aoriana mankany amin'ny fitaovana kendrena dia hisy fiantraikany be, ka miteraka ny tsy fahafahan'ny fanaparitahana ny hafanana mandritra ny sputtering, ary amin'ny farany dia mitarika ho amin'ny triatra na fivilian'ny fitaovana kendrena.
4. Fanaraha-maso fohy sy famehezana
Aorian'ny fametrahana ny fitaovana kendrena dia ilaina ny manamarina ny faritra fohy sy ny famehezana ny cathode manontolo.Amporisihina ny mampiasa ohmmeter sy megohmmeter mba hamaritana raha fohy ny cathode.Rehefa avy nanamarina fa ny cathode dia tsy fohy circuit, dia azo atao ny mamantatra ny leak amin'ny alalan'ny fampidirana rano ao amin'ny cathode mba hamaritana raha misy leakage.
5. Ny fitaovana kendrena mialoha ny sputtering
Manoro hevitra ny mampiasa entona argon madio ho an'ny sputtering mialoha ny fitaovana kendrena, izay afaka manadio ny endriky ny fitaovana kendrena.Amporisihina ny hampitombo tsikelikely ny herin'ny sputtering mandritra ny dingana mialoha ny sputtering ho an'ny fitaovana kendrena.Ny herin'ny fitaovana kendrena seramika
Fotoana fandefasana: Oct-19-2023