1. Fiomanana sputtering
Tena zava-dehibe ny fitazonana ny efitrano banga, indrindra fa ny rafitra sputtering.Ny sisa tavela amin'ny menaka fanosotra, vovoka ary ny coating teo aloha dia hanangona etona rano sy loto hafa, izay hisy fiantraikany mivantana amin'ny mari-pahaizana vacuum ary hampitombo ny mety hisian'ny tsy fahombiazana amin'ny famoronana sarimihetsika.Short circuit na lasibatra arcing, saro-pady ambonin'ny sarimihetsika sy ny tafahoatra simika loto loto dia matetika vokatry ny maloto sputtering efitra, sputtering basy sy lasibatra.Mba hifikitra amin'ny toetra mampiavaka ny coating, dia ilaina ny manadio sy maina ny sputtering entona (argon na oksizenina).Aorian'ny fametrahana ny substrate ao amin'ny efitrano fitsangantsanganana, dia mila esorina ny rivotra mba hahatongavana amin'ny banga takian'ny dingana.Ny fonon'ny fiarovan-tena ao amin'ny faritra maizina, ny rindrin'ny lavaka ary ny faritra mifanila dia tokony hodiovina ihany koa.Rehefa manadio ny efi-trano banga, dia nanolorana azy ho mampiasa fitaratra baolina tifitra fanapoahana mba hitsaboana ny vovoka faritra, miaraka amin'ny compresses rivotra mba hanesorana ny tany am-boalohany sputtering residues manodidina ny efi-trano, ary avy eo mangina ny ivelany ambonin'ny amin'ny alumina impregnated sandpaper.Aorian'ny fanadiovana ny taratasy gauze dia diovina amin'ny alikaola, acetone ary rano deionized.Miara-miasa, manohana ny fampiasana mpanadio banga indostrialy ho an'ny fanadiovana fanampiny.Ny tanjona novokarin'ny metaly Gaozhan dia feno harona plastika voaisy tombo-kase,
Naorina tao amin'ny fitaovana tsy hamandoana.Rehefa mampiasa ny lasibatra dia aza kitihina mivantana amin'ny tananao.Fanamarihana: rehefa mampiasa ny tanjona dia mitafy fonon-tanana madio sy tsy misy fikojakojana.Aza mikasika mivantana amin'ny tananao mihitsy ilay lasibatra
2. Fanadiovana tanjona
Ny tanjon'ny fanadiovana kendrena dia ny hanesorana ny vovoka na ny loto izay mety misy eo amin'ny tampon'ny lasibatra.
Ny tanjona metaly dia azo diovina amin'ny dingana efatra,
Ny dingana voalohany dia ny manadio amin'ny lamba malefaka tsy misy lint voatoto amin'ny acetone;
Ny dingana faharoa dia mitovy amin'ny dingana voalohany, fanadiovana amin'ny alikaola;
Dingana 3: diovina amin'ny rano deionized.Aorian'ny fanasana amin'ny rano deionized dia apetraho ao anaty lafaoro ny kendrena ary maina amin'ny 100 ℃ mandritra ny 30 minitra.
Ny fanadiovana ny oxide sy seramika kendrena dia atao amin'ny "lamba tsy misy lint".
Ny dingana fahefatra dia ny manasa ny lasibatra amin'ny argon amin'ny tsindry ambony sy ambany rano entona rehefa avy nesorina ny faritra feno vovoka, mba hanesorana ny loto rehetra poti izay mety ho arc amin'ny sputtering rafitra.
3, fitaovana tanjona
Amin'ny dingan'ny fametrahana tanjona, Z fitandremana manan-danja dia ny hiantohana ny fifandraisana mafana tsara eo amin'ny kendrena sy ny rindrin'ny basy mitsimoka.Raha mafy ny ady amin'ny tohodrano mangatsiaka na mafy ny fihoaram-pefy amin'ny takelaka aoriana, dia hipoitra na hiondrika ny fitaovana kendrena, ary hisy fiantraikany be ny conductivity mafana avy amin'ny tanjona aoriana mankany amin'ny lasibatra, ka miteraka tsy fahampian'ny hafanana. ao amin'ny dingan'ny sputtering, ary ny lasibatra dia vaky na tsy hita
Mba hahazoana antoka ny conductivity mafana, sosona taratasy graphite azo padded eo anelanelan'ny cathode cooling rindrina sy ny tanjona.Azafady, tandremo tsara ny mijery sy hazavao tsara ny fisaka amin'ny rindrin'ny basy mitsimoka ampiasaina mba hahazoana antoka fa eo amin'ny toerany foana ny O-ring.
Koa satria ny fahadiovan'ny rano mangatsiaka ampiasaina sy ny vovoka mety hitranga mandritra ny fampandehanana ny fitaovana dia hapetraka ao amin'ny fitoeran-drano mangatsiakan'ny cathode, ilaina ny manamarina sy manadio ny fitoeran-drano mangatsiaka cathode rehefa mametraka ny lasibatra mba hahazoana antoka ny fahamendrehana. fikorianan'ny rano mangatsiaka ary tsy ho voasakana ny fidirana sy ny fivoahana.
Ny cathodes sasany dia nokasaina hanana toerana kely miaraka amin'ny anode, ka rehefa mametraka ny tanjona dia ilaina ny hahazoana antoka fa tsy misy fikasihana na conducteur eo anelanelan'ny cathode sy ny anode, raha tsy izany dia hisy circuit fohy.
Jereo ny Boky Torolàlana ho an'ny mpandraharaha fitaovana raha mila fanazavana momba ny fomba fampandehanana tsara ny kendrena.Raha tsy misy fampahalalana toy izany ao amin'ny boky torolalana, andramo ny mametraka ny fitaovana araka ny soso-kevitra mifandraika amin'ny metaly Gaozhan.Rehefa manenjana ny fitaovana kendrena dia henjana aloha ny bolt iray amin'ny tanana, ary avy eo henjana ny bolt iray hafa amin'ny diagonaly amin'ny tanana.Avereno izany mandra-pahazotoana ny bolts rehetra amin'ny fitaovana, ary avy eo henjana amin'ny zavatra iray.
4. Fanaraha-maso akaiky sy fihenjanana
Aorian'ny fahavitan'ny fitaovana kendrena dia ilaina ny manamarina ny fihodinana fohy sy ny fihenjanan'ny cathode manontolo,
Ny soso-kevitra dia ny hamaritana raha misy circuit fohy ao amin'ny cathode amin'ny fampiasana metatra fanoherana
Fanavakavahana andalana.Rehefa avy nanamarina fa tsy misy circuit fohy ao amin'ny cathode, dia azo atao ny mamantatra ny leak, ary ny rano dia azo ampidirina ao amin'ny cathode mba hanamafisana raha misy rano mitete.
5, Tanjona mialoha sputtering
Target alohan'ny sputtering dia miaro ny argon sputtering madio, izay afaka manadio ny endriky ny kendrena.Rehefa lasibatra mialoha ny lasibatra, dia asaina mampitombo tsikelikely ny herin'ny sputtering, ary ny taham-pitomboan'ny seramika kendrena dia 1.5WH / cm2.Ny hafainganam-pandehan'ny kendrena metaly mialoha dia mety ho avo kokoa noho ny an'ny sakana kendrena seramika, ary ny tahan'ny fitomboana ara-dalàna dia 1.5WH / cm2.
Ao amin'ny dingan'ny sputtering mialoha dia mila manamarina ny arcing ny tanjona.Ny fotoana alohan'ny famafazana dia matetika eo amin'ny 10 minitra.Raha tsy misy tranga arcing, dia ampitomboy hatrany ny herin'ny sputtering
Ho an'ny hery napetraka.Araka ny traikefa, ny Z avo sputtering herin'ny metaly kendrena dia azo ekena
25watts / cm2, 10watts / cm2 ho an'ny kendrena seramika.Azafady, jereo ny fototry ny fametrahana sy ny traikefan'ny fanerena ny efitrano banga mandritra ny sputtering ao amin'ny boky fampandehanana rafitra an'ny mpampiasa.Amin'ny ankapobeny, tokony ho azo antoka fa ny hafanan'ny rano amin'ny fivoahan'ny rano mangatsiaka dia tokony ho ambany noho ny 35 ℃, fa Z dia zava-dehibe ny hahazoana antoka fa ny rafitra mivezivezy amin'ny rano mangatsiaka dia afaka miasa tsara.
Ny fandehanana haingana amin'ny rano mangatsiaka dia manala hafanana, izay antoka manan-danja hiantohana ny fitsitsiana tsy tapaka miaraka amin'ny hery avo.Ho an'ny lasibatra metaly, amin'ny ankapobeny dia asaina ny fikorianan'ny rano mangatsiaka
Ny fanerena rano 20lpm dia manodidina ny 5gmp;Ho an'ny tanjona seramika, amin'ny ankapobeny dia asaina 30lpm ny fikorianan'ny rano ary manodidina ny 9gmp ny tosi-drano.
6. Fikarakarana tanjona
Mba hisorohana ny fihoaram-pefy sy ny arcing vokatry ny lavaka maloto ao amin'ny dingan'ny sputtering, dia ilaina ny manala ny sputter miangona eo afovoany sy ny lafiny roa amin'ny lalan'ny sputtering tsikelikely,
Izany koa dia manampy ny mpampiasa hitsambikina tsy tapaka amin'ny z hakitroky hery avo
7, fitahirizana tanjona
Ny lasibatra nomen'ny metaly Gaozhan dia fonosina anaty harona plastika misy sosona roa.Manoro hevitra izahay fa ny mpampiasa dia mitazona ny tanjona, na metaly na seramika, ao anaty fonosana banga.Indrindra indrindra, ny tanjona fatorana dia mila tehirizina ao anatin'ny toe-javatra banga mba hisorohana ny oxidation ny sosona fatorana tsy hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny fatorana.Mikasika ny famenoana lasibatra metaly, dia manoro hevitra izahay fa ny Z dia tokony hapetraka ao anaty harona plastika madio
Fotoana fandefasana: May-13-2022