Miaraka amin'ny fitomboan'ny fangatahan'ny tsena, mihamaro hatrany ny karazana kendrena sputtering no havaozina tsy tapaka.Misy ny mahazatra ary ny sasany tsy mahazatra ny mpanjifa.Ankehitriny, tianay ny hizara aminareo hoe inona avy ireo karazana lasibatry ny magnetron sputtering.
Sputtering kendrena dia manana ireto karazana manaraka ireto: metaly sputtering coating kendrena, alloy sputtering coating kendrena, seramika sputtering coating kendrena, boride seramika sputtering kendrena, carbide seramika sputtering kendrena, fluoride seramika sputtering kendrena, nitride seramika sputtering kendrena, oxide seramika kendrena, selenide kendrena , lasibatra seramika silicide, lasibatra seramika sulfida, lasibatra seramika telluride, lasibatra seramika hafa, lasibatra seramika silisiôma silisiôma chromium (CR SiO), kendrena indium phosphide (INP), kendrena arsenide lead (pbas), kendrena indium arsenide (InAs ).
Amin'ny ankapobeny dia mizara ho karazany roa ny fanodikodinana Magnetron: ny famafazana DC sy ny famafazana RF.Ny fitsipiky ny DC sputtering fitaovana dia tsotra, ary ny tahan'ny koa dia haingana rehefa sputtering metaly.Ny RF sputtering dia ampiasaina betsaka.Ho fanampin'ny fanodikodinana angon-drakitra conductive, dia afaka mitsambikina angon-drakitra tsy conductive ihany koa izy.Mandritra izany fotoana izany, ny lasibatra sputtering ihany koa dia mitondra reactive sputtering mba hanomanana angona fitambarana toy ny oxides, nitride ary carbide.Raha mitombo ny fatran'ny RF, dia ho lasa mikrôby plasma sputtering.Amin'izao fotoana izao, ny electron cyclotron resonance (ECR) microwave plasma sputtering dia matetika ampiasaina.
Fotoana fandefasana: May-18-2022